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基于白光干涉儀的晶圓表面粗糙度及加工工藝檢測分析

一、技術概述半導體超光滑晶圓構件是高端芯片、精密光學、激光系統的核心基礎元件，其CMP拋光、研磨等工序易產生納米級劃痕、局部凹陷、顆粒凸起、面形畸變等微觀缺陷。傳...

基于白光干涉儀的晶圓表面粗糙度及加工工藝檢測分析

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基于白光干涉儀（White Light Interferom...

摘要超光滑工件（Ultra-smooth Workpiece）是半導體晶圓、精密光學基底、微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Syste...

基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）大視場全域檢測的超光滑工件工藝缺陷甄別研究

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光學輪廓測量在高壓加氫反應器密封件平面度檢測中的應用

高壓加氫反應器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石化加氫裝置核心承壓設備，密封件平面度（Flatness）是保障高壓介質...

光學輪廓測量在高壓加氫反應器密封件平面度檢測中的應用

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高壓加氫反應器密封件平面度（Sealing Part Fla...

高壓加氫反應器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石油化工加氫裝置的核心承壓設備，其端面密封件的平面度直接決定設備密封性能...

高壓加氫反應器密封件平面度（Sealing Part Flatness）的光學輪廓測量研究

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