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基于白光干涉儀（White Light Interfer...

摘要超薄薄膜工件（Ultra-thin Film Workpiece）廣泛應用于半導體晶圓（Wafer）、鈣鈦礦光伏膜層、微機電系統（MEMS）功能膜層等精密制造...

基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）大視場全域檢測的超薄薄膜工件（Ultra-thin Film Workpiece）工藝缺陷甄別研究

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骨植入體多孔孔徑尺寸偏差，白光干涉儀優化骨組織生長環境

多孔骨植入體（Porous Bone Implant）憑借貫通孔隙結構實現細胞附著、體液傳輸與骨長入，孔徑（Pore Size）是決定骨再生與血管化效果的關鍵結構...

骨植入體多孔孔徑尺寸偏差，白光干涉儀優化骨組織生長環境

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白光干涉儀全域成像技術對超光滑樣品批量工藝異常的識別與分析

正文超光滑樣品廣泛應用于半導體化學機械拋光（Chemical Mechanical Polishing, CMP）晶圓、精密光學基底、微機電系統（Micro-El...

白光干涉儀全域成像技術對超光滑樣品批量工藝異常的識別與分析

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2026

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基于光學輪廓測量的核電級閥門平面度熱輻照變形（Thermal...

核電級閥門（Nuclear-grade Valve）是核電系統流體調控、壓力隔離的核心承壓設備，其密封面平面度（Flatness）直接關乎核電機組運行安全性與密封...

基于光學輪廓測量的核電級閥門平面度熱輻照變形（Thermal Irradiation Deformation）研究

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