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超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）工藝畸變...

摘要超光滑樣品廣泛應用于精密光學元件、半導體晶圓（Wafer）、微機電系統(tǒng)（MEMS）器件、鈣鈦礦功能薄膜等高端制造領域。樣品在拋光、鍍膜、轉運制程中，易產生全域...

超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）工藝畸變與微觀缺陷檢測：基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）高精度表征方法

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光學鏡片微觀形貌缺陷頻發(fā)，白光干涉儀全維度把控鏡頭量產品

光學鏡片（Optical Lens）量產加工過程中，受超精研磨、拋光工藝誤差、工裝夾持應力、環(huán)境粉塵及清洗工藝影響，極易產生各類微觀形貌缺陷。常見缺陷包含微觀劃痕...

光學鏡片微觀形貌缺陷頻發(fā)，白光干涉儀全維度把控鏡頭量產品

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光學輪廓測量在核電級硬密封閥門平面度檢測中的應用

核電級硬密封閥門（Nuclear-grade Hard-seal Valve）是核電管路系統(tǒng)核心承壓密封構件，其密封面平面度（Flatness）直接影響機組高低壓...

光學輪廓測量在核電級硬密封閥門平面度檢測中的應用

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白光干涉儀（White Light Interferomet...

摘要超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）是半導體晶圓、精密光學基底、微機電系統(tǒng)（MEMS）基底等高端制造領域的核心基材，其拋光、化學機械拋光（Ch...

白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）形貌測量技術在超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）加工工藝優(yōu)化中的異常分析應用

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