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基于白光干涉儀（White Light Interferom...

摘要超光滑工件（Ultra-smooth Workpiece）是半導(dǎo)體晶圓、精密光學(xué)基底、微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Syste...

基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）大視場(chǎng)全域檢測(cè)的超光滑工件工藝缺陷甄別研究

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2026

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光學(xué)輪廓測(cè)量在高壓加氫反應(yīng)器密封件平面度檢測(cè)中的應(yīng)用

高壓加氫反應(yīng)器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石化加氫裝置核心承壓設(shè)備，密封件平面度（Flatness）是保障高壓介質(zhì)...

光學(xué)輪廓測(cè)量在高壓加氫反應(yīng)器密封件平面度檢測(cè)中的應(yīng)用

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2026

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高壓加氫反應(yīng)器密封件平面度（Sealing Part Fla...

高壓加氫反應(yīng)器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石油化工加氫裝置的核心承壓設(shè)備，其端面密封件的平面度直接決定設(shè)備密封性能...

高壓加氫反應(yīng)器密封件平面度（Sealing Part Flatness）的光學(xué)輪廓測(cè)量研究

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2026

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BGA 封裝三維形貌 (3D Morphology)成型...

摘要球柵陣列封裝（BGA, Ball Grid Array）焊球三維形貌異常是制約半導(dǎo)體封裝量產(chǎn)良率的核心隱患。行業(yè)主流依托白光干涉儀（WLI, White Li...

BGA 封裝三維形貌 (3D Morphology)成型缺陷，白光干涉儀嚴(yán)控封裝量產(chǎn) (Packaging Mass Production) 品質(zhì)

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