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光學輪廓測量在高溫高壓硬密封球閥平面度檢測中的應用

摘要：針對油氣、煤化工領域高溫高壓硬密封球閥（High-temperature and High-pressure Hard-seal Ball Valve）密封...

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互補金屬氧化物半導體感光芯片（Complementary Metal Oxide Semiconductor, CMOS）是機器視覺（Machine Vision...

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微機電系統器件（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）懸空微結構懸空間隙（Air Gap），是決定器件力學響應與傳感精度的核...

MEMS 器件懸空間隙 (Air Gap)偏移，白光干涉儀檢測調校阻尼系數 (Damping Coefficient) 響應參數

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共聚焦顯微鏡粗糙度偏差解析

在半導體、超精密制造領域，表面粗糙度測量精度直接決定產品質量與服役性能。本文聚焦激光共聚焦顯微鏡（LCM）實測粗糙度數據偏差、重復性差的行業共性問題，結合ISO官...

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