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激光共聚焦誤差根源及白光干涉儀替代方案

一、激光共聚焦顯微鏡粗糙度檢測偏差根源1、1 物鏡先天視野局限納米級粗糙度檢測主流采用尼康50×APO高倍物鏡，設備精度與物鏡倍率正相關，但高倍率會大幅壓縮成像視...

激光共聚焦誤差根源及白光干涉儀替代方案

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有效提升電子組件組裝良品率（Assembly Yield），...

柔性印制電路板（Flexible Printed Circuit，FPC）是消費電子、半導體精密組裝的核心輕量化基材，其封裝邊緣直線度（Straightness）...

有效提升電子組件組裝良品率（Assembly Yield），依靠光學 3D 輪廓儀檢測 FPC 封裝直線度（Straightness）

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光學輪廓測量評估煤粉輸送閥平面度防竄漏（Anti-chann...

在煤粉輸送系統中，輸送閥密封面平面度（Flatness）超差是引發防竄漏失效（Anti-channeling Failure）、煤粉外漏及管路壓力擾動的核心誘因。...

光學輪廓測量評估煤粉輸送閥平面度防竄漏（Anti-channeling）應用價值

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MEMS 傳感器溝槽刻蝕（Groove Etching of...

摘要微機電系統傳感器（Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS）制備過程中，溝槽刻蝕形貌、薄膜沉積厚度、多層結構臺階高度，是決...

MEMS 傳感器溝槽刻蝕（Groove Etching of MEMS Sensor）、薄膜厚度（Thin Film Thickness）與臺階高度（Step Height）測量，采用白光干涉儀檢測

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