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微透鏡通光口徑 (Aperture Size)成型異常，...

摘要微透鏡（Microlens）通光口徑（Aperture Size）的尺寸精度與邊緣輪廓質量，直接決定光學系統光能利用率與成像一致性。光刻（Photolitho...

微透鏡通光口徑 (Aperture Size)成型異常，借助白光干涉儀排查微納加工 (Micro-nano Machining) 工藝弊病

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激光顯微鏡集成干涉系統拜耳陣列（Bayer Array）對干涉條紋精度影響分析

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