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MEMS 芯片微觀形變 (Micro Deformati...

摘要MEMS芯片多層薄膜沉積、干法刻蝕、晶圓鍵合制程易產(chǎn)生殘余應力，誘發(fā)懸臂梁、傳感膜片產(chǎn)生微觀形變(Micro Deformation)缺陷，進而造成器件零點漂...

MEMS 芯片微觀形變 (Micro Deformation)缺陷，白光干涉儀全方位把控批量生產(chǎn) (Batch Production) 工藝品質(zhì)

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FPC 封裝形變（Packaging Deformation...

柔性印制電路板（Flexible Printed Circuit，F(xiàn)PC）憑借輕薄、可彎折、高適配性優(yōu)勢，廣泛應用于高端3C精密電子封裝領域。FPC封裝制程易產(chǎn)生...

FPC 封裝形變（Packaging Deformation）科學管控，采用光學 3D 輪廓儀搭建高精度測量方案

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激光共聚焦數(shù)據(jù)失真與白光干涉儀優(yōu)化方案

一、激光共聚焦顯微鏡粗糙度數(shù)據(jù)失真成因解析1.1 物鏡先天視野局限納米級粗糙度檢測主流采用尼康50×APO高倍物鏡，設備精度與物鏡倍率正相關，但高倍率會大幅壓縮成...

激光共聚焦數(shù)據(jù)失真與白光干涉儀優(yōu)化方案

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高溫高壓硬密封球閥平面度對密封性能（Sealing Perf...

高溫高壓硬密封球閥（High-temperature and High-pressure Hard-sealed Ball Valve）是石油、化工高端流程工業(yè)的...

高溫高壓硬密封球閥平面度對密封性能（Sealing Performance）的光學輪廓測量分析

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