測(cè)量項(xiàng)目
先設(shè)置數(shù)據(jù)
激光相干3D光學(xué)輪廓儀
激光相干3D光學(xué)輪廓儀

讓白光干涉儀操作更簡(jiǎn)單，更智能

·  同軸垂直掃描，避開(kāi)遮擋，單幅 90mm，大視野拼接高效

·  支持 130mm深孔檢測(cè)，30:1 高徑比，±2mm精度，一次成型

·  同軸光路角度特性更優(yōu)，精準(zhǔn)測(cè)量刀具刃口 R 角與角度

·  智能擬合測(cè)算弧面 R 值，消除人工測(cè)量偏差

·  搭載旋轉(zhuǎn)掃描結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)內(nèi)孔壁面三維輪廓測(cè)量





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激光相干3D光學(xué)輪廓儀

同軸落射垂直掃描設(shè)計(jì)，有效規(guī)避樣品遮擋干擾，單幅掃描可達(dá) 90mm，大視野無(wú)縫拼接更高效。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

最大 130mm 深孔探測(cè)，孔徑比掃描 30 1，重復(fù)精度 ±2μm，無(wú)需 Z 軸拼接，單次掃描直接成像

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

同軸落射光學(xué)角度性能優(yōu)于傳統(tǒng)三角成像，可清晰成像，精準(zhǔn)完成銑刀刃口鈍化 R 值與刀面角度測(cè)量。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

弧面 R 值測(cè)量核心難點(diǎn)為曲線自動(dòng)擬合測(cè)算半徑R,規(guī)避人工鼠標(biāo)抓取產(chǎn)生的測(cè)量誤差。


激光相干3D光學(xué)輪廓儀

傳統(tǒng)反射光路無(wú)法測(cè)量?jī)?nèi)孔垂直壁面，加裝旋轉(zhuǎn)反射掃描機(jī)構(gòu)，即可完成內(nèi)孔 3D 輪廓掃描。


激光相干3D光學(xué)輪廓儀

擁有豐富測(cè)量功能，可一站式完成平面尺寸、臺(tái)階、凸臺(tái)、深孔、凹槽、角度、弧度、平面度、平行度、粗糙度等全類型形位公差測(cè)量；簡(jiǎn)潔人性化界面，操作更簡(jiǎn)單，測(cè)量更輕松。


激光相干3D光學(xué)輪廓儀

同軸落射垂直掃描設(shè)計(jì)，有效規(guī)避樣品遮擋干擾，單幅掃描可達(dá) 90mm，大視野無(wú)縫拼接更高效。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

最大 130mm 深孔探測(cè)，孔徑比掃描 30 1，重復(fù)精度 ±2μm，無(wú)需 Z 軸拼接，單次掃描直接成像

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

同軸落射光學(xué)角度性能優(yōu)于傳統(tǒng)三角成像，可清晰成像，精準(zhǔn)完成銑刀刃口鈍化 R 值與刀面角度測(cè)量。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

全域粗糙度一鍵測(cè)量，量程跨度廣，可精準(zhǔn)檢測(cè)從超光滑鏡面到增材高粗糙工件的全范圍表面粗糙度。

激光相干3D光學(xué)輪廓儀

保留黑白干涉解析能力，搭載 RGB 真彩色成像；還原樣品形貌與色彩細(xì)節(jié)，測(cè)量更全面、分析更直觀。




激光相干3D光學(xué)輪廓儀

擁有豐富測(cè)量功能，可一站式完成平面尺寸、臺(tái)階、凸臺(tái)、深孔、凹槽、角度、弧度、平面度、平行度、粗糙度等全類型形位公差測(cè)量；簡(jiǎn)潔人性化界面，操作更簡(jiǎn)單，測(cè)量更輕松。

多功能面型干涉儀
多功能面型干涉儀

全新激光光學(xué)頻率梳技術(shù)

完美兼具實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)線自動(dòng)化3D測(cè)量需求

·  納米精度，200×200mm 大視野全域掃描

·  可測(cè) 70mm大臺(tái)階工件雙面平行度

·  加裝光譜模塊，同步檢測(cè)面型與粗糙度

·  自動(dòng)測(cè)量智能判定，適配批量全檢

·  獨(dú)創(chuàng)光路，雙面同掃精準(zhǔn)測(cè)厚與平行度

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多功能面型干涉儀

納米精度｜200×200mm 視野，掃描成像


多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)干涉儀受光學(xué)局限，無(wú)法對(duì)70mm臺(tái)階工件雙面同步掃描，難以測(cè)量平面平行度。

多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)截面測(cè)量易因樣品差異造成取樣偏移，數(shù)據(jù)偏差大；面臺(tái)階測(cè)量可有效杜絕此類誤差。

多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)大視野面測(cè)受光學(xué)限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測(cè)量。

多功能面型干涉儀

納米精密檢測(cè)設(shè)備搭載自動(dòng)點(diǎn)位測(cè)量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業(yè)。

多功能面型干涉儀

專屬獨(dú)特光路架構(gòu)，非透明樣品支持上下表面同時(shí)掃描，可精準(zhǔn)檢測(cè)厚度均勻性與面平行度


多功能面型干涉儀

納米精度｜200×200mm 視野，掃描成像


多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)干涉儀受光學(xué)局限，無(wú)法對(duì)70mm臺(tái)階工件雙面同步掃描，難以測(cè)量平面平行度。

多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)截面測(cè)量易因樣品差異造成取樣偏移，數(shù)據(jù)偏差大；面臺(tái)階測(cè)量可有效杜絕此類誤差。

多功能面型干涉儀

傳統(tǒng)大視野面測(cè)受光學(xué)限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測(cè)量。

多功能面型干涉儀

納米精密檢測(cè)設(shè)備搭載自動(dòng)點(diǎn)位測(cè)量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業(yè)。

多功能面型干涉儀

專屬獨(dú)特光路架構(gòu)，非透明樣品支持上下表面同時(shí)掃描，可精準(zhǔn)檢測(cè)厚度均勻性與面平行度