光學(xué)鏡片（Optical Lens）鍍膜制程中，鍍膜厚度（Coating Thickness）是決定膜系光學(xué)性能的核心參數(shù)。物理氣相沉積（PVD）、磁控濺射等工藝過程中，受蒸發(fā)源分布不均、晶控系統(tǒng)校準(zhǔn)偏差、真空腔溫度梯度及基片公轉(zhuǎn)穩(wěn)定性影響，易出現(xiàn)膜厚偏移與均勻性異常，分為整體系統(tǒng)性偏移與局部隨機(jī)厚度誤差兩類行業(yè)常見工藝問題。
鍍膜厚度微小偏移會直接改變膜層光學(xué)厚度（Optical Thickness），破壞薄膜干涉設(shè)計(jì)條件，引發(fā)中心波長偏移、透過率衰減、光譜曲線畸變等缺陷，同時(shí)產(chǎn)生附加光程差（Optical Path Difference, OPD），造成光學(xué)系統(tǒng)成像色差與光路穩(wěn)定性下降，大幅降低精密光學(xué)器件的良率與使用精度。傳統(tǒng)晶控、光控檢測方式僅能獲取平均膜厚參數(shù)，無法精準(zhǔn)捕捉鏡片全域微觀膜厚偏差與局部梯度分布。
白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）憑借短相干三維形貌檢測原理，可實(shí)現(xiàn)非接觸、納米級精度的鍍膜厚度全域檢測，精準(zhǔn)識別膜厚偏移量與不均勻區(qū)域，輸出膜厚極差、均勻性等核心制程指標(biāo)。依托實(shí)測數(shù)據(jù)可反向校準(zhǔn)鍍膜設(shè)備參數(shù)、優(yōu)化沉積速率與基片擺放工藝，有效修正膜厚偏移問題。
該檢測核驗(yàn)方式可精準(zhǔn)管控鍍膜制程精度，穩(wěn)定鏡片光譜性能與光路傳輸效果，廣泛適配精密濾光片、光學(xué)透鏡的量產(chǎn)質(zhì)控場景，是光學(xué)鍍膜制程高精度管控的有效技術(shù)手段。
光學(xué)鏡片實(shí)測應(yīng)用圖示及說明（工業(yè)及半導(dǎo)體專屬）
（圖示為光學(xué)鏡片關(guān)鍵指標(biāo)：含平面度誤差（Flatness Error）、峰值谷值（Peak-Valley, PV）、均方根值（Root Mean Square, RMS），精準(zhǔn)把控鏡片平面精度，保障鏡片光學(xué)性能穩(wěn)定，適配半導(dǎo)體光學(xué)鏡片檢測需求）
（圖示為表面粗糙度（Surface Roughness, Ra）：精度達(dá)6pm=0.006nm，精準(zhǔn)表征鏡片表面光滑度，適配高精度光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體光學(xué)窗口片檢測需求，規(guī)避表面粗糙導(dǎo)致的光學(xué)損耗）
（圖示為實(shí)測涂層厚度（Coating Thickness）：75.2nm，精準(zhǔn)測量光學(xué)鏡片涂層厚度，助力涂層工藝優(yōu)化（Coating Process Optimization）與質(zhì)量管控，保障鏡片抗反射、抗磨損等性能）
（圖示為涂層表面質(zhì)量3D形貌圖（3D Morphology Map of Coating Surface Quality），清晰呈現(xiàn)涂層表面狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂層劃痕、脫落、氣泡等缺陷（Defect），為工藝改進(jìn)提供數(shù)據(jù)支撐）
大視野3D白光干涉儀
大視野3D白光干涉儀，聚焦光學(xué)鏡片（Optical Lens）精密測量，打造納米級（Nanoscale）測量全域解決方案，突破傳統(tǒng)測量局限，定義光學(xué)鏡片檢測新范式，以高效、精準(zhǔn)的測量能力，適配光學(xué)鏡片全流程檢測需求，為工業(yè)光學(xué)、半導(dǎo)體光學(xué)器件（Semiconductor Optical Devices）等領(lǐng)域提供全方位技術(shù)支撐。
設(shè)備憑借核心創(chuàng)新技術(shù)，一機(jī)解鎖納米級全場景測量，重新詮釋精密測量（Precision Measurement）的高效與精準(zhǔn)，助力光學(xué)鏡片生產(chǎn)、加工環(huán)節(jié)的質(zhì)量管控（Quality Control），保障鏡片光學(xué)性能（Optical Performance）達(dá)標(biāo)，適配半導(dǎo)體光學(xué)組件、精密光學(xué)儀器等高端場景需求。
核心優(yōu)勢：大視野+高精度，突破行業(yè)局限
打破行業(yè)常規(guī)壁壘，解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡（Objective Lens）僅能單孔使用、需兩臺儀器分別實(shí)現(xiàn)大視野與高精度測量（High-Precision Measurement）的痛點(diǎn)。設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪（Turret Nose Wheel），一臺設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測效率（Inspection Efficiency）與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度（Data Accuracy），完美適配光學(xué)鏡片復(fù)雜測量場景。
新啟航半導(dǎo)體｜專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障，支持自動(dòng)化定制；高端系列對標(biāo)國際一線品牌，大視野設(shè)計(jì)，輕松應(yīng)對高低反射、復(fù)雜材料測量場景。
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