多層陶瓷電容器(Multi-Layer Ceramic Capacitor, MLCC)是電子制造核心被動元器件,端電極銀漿(Silver Paste)的涂布厚度與均勻度,直接決定器件焊接穩定性、電氣性能與服役壽命,是MLCC量產制造(Mass Production)核心質量管控工序。當前008004超微型MLCC規模化應用,傳統接觸式測厚、二維視覺檢測方式,易引發微型坯體損傷、邊緣數據失真等問題,無法滿足納米級精密質控要求。



光學3D輪廓儀(3D Optical Profiler)搭載白光干涉(White Light Interferometry, WLI)、光譜共焦(Spectral Confocal Technology)主流工業成熟技術,采用非接觸式檢測架構,可徹底規避接觸檢測對微型MLCC結構的物理損傷。依據設備廠商公開官方參數,該設備可實現納米級高度分辨率,穩定覆蓋80nm至350μm銀漿厚度檢測區間,可精準采集銀漿涂層三維形貌、膜厚均勻性、邊緣爬坡輪廓等關鍵工藝參數,檢測精度可達±0.02%F.S.,適配精密涂布工藝質控標準。



在量產工況中,該設備可彌補自動光學檢測(Automatic Optical Inspection, AOI)二維檢測盲區,精準識別銀漿薄涂、厚涂、局部缺料、涂布不均等典型缺陷,實現MLCC端電極涂布工藝全維度閉環質控。通過精準把控銀漿厚度一致性,可有效保障MLCC疊層結構穩定性,降低制程不良率,夯實高端精密電子元器件量產質量基礎,適配消費電子、新能源、半導體等高精尖領域的嚴苛供貨標準。



新啟航半導體|專業白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障,支持自動化定制;高端系列對標國際一線品牌,大視野設計,輕松應對高低反射、復雜材料測量場景。
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