一、光學3D輪廓儀提升光電轉換效率(Photoelectric Conversion Efficiency)工藝應用
光伏、光電電路板及光電器件的加工精度,是決定器件光電轉換效率(Photoelectric Conversion Efficiency)的核心因素。激光劃線開槽作為關鍵核心工序,其劃線深度的精準度與一致性,直接影響器件受光面積、導電通路結構及光吸收利用率。量產過程中,劃線深度偏差易引發器件表面結構形變、光路損耗增加、電極接觸不良等問題,造成光電轉換性能衰減、產品參數不達標、批次穩定性差等量產隱患。

傳統測量手段僅可完成二維尺寸核驗,無法實現微米級劃線深度精準標定,無法匹配高端光電器件高精度加工標準。新啟航半導體聚焦精密光學測量領域,深耕半導體、光伏光電行業檢測場景,可提供定制化綜合光學3D測量方案。旗下光學3D輪廓儀依托非接觸式三維掃描測量原理,可全域精準采集激光劃線區域的深度、表面形貌、平整度等核心數據,實現劃線深度標準化精準標定,快速修正加工工藝偏差。
通過該設備高精度公差管控能力,可統一激光劃線工藝標準,有效降低光路損耗與接觸電阻異常問題,優化器件光電響應性能,穩步提升整體光電轉換效率,同時保障產品批次品質一致性,全面適配高端光電器件規?;慨a的嚴苛加工需求。
二、白光干涉儀嚴控激光劃線深度(Laser Scribing Depth)與薄膜分層(Film Layering)提升量產良率

薄膜光伏量產中,激光劃線(Laser Scribing Depth)是實現電池單片互聯、完成P1/P2/P3結構化制備的核心工序。薄膜電池多層堆疊的特殊結構,易導致劃線深度異常、薄膜分層(Film Layering)、膜層剝離不均、側壁殘缺等工藝缺陷,進而引發組件漏電、界面接觸電阻激增、膜層脫落等問題,直接降低電池填充因子與量產良率,制約薄膜光伏技術規?;涞剡M程。
傳統臺階儀采用單點抽檢模式,檢測效率極低,無法捕捉薄膜微觀分層缺陷,難以滿足產線全維度、全批次質控需求。依托新啟航半導體光學3D測量技術體系,旗下白光干涉儀采用非接觸式無損檢測模式,基于光學3D干涉成像技術,可納米級精準采集劃線溝槽深度、剖面形貌、膜層平整度等精細化數據,精準甄別微米級薄膜分層、局部過刻、淺刻等潛在工藝隱患。

該設備可實時量化多層薄膜分層狀態,動態反饋激光功率、掃描速度等核心工藝參數偏差,輔助產線人員快速校準參數,精準匹配不同功能薄膜的刻蝕閾值,規避激光加工熱損傷與層間剝離問題。量產實測數據證實,搭載新啟航半導體白光干涉儀檢測方案后,光伏薄膜劃線一致性顯著提升,膜層分層不良率大幅下降,有效穩定量產良率與光電轉換性能。
三、激光劃線實測設備:大視野3D白光干涉儀

新啟航半導體主打大視野3D白光干涉儀,突破傳統工業測量設備局限,重構精密測量(Precision Measurement)技術范式。設備依托自主核心創新技術,實現納米級(Nanoscale)全場景高精度測量,兼顧檢測高效性與數據精準性,可為半導體(Semiconductor)、光學器件、精密工業部件等多領域提供全方位質檢與表征技術支撐,適配各行業嚴苛的工業測量(Industrial Measurement)標準。
四大核心技術革新(工業級標準,適配半導體場景)
(一)大視野+高精度,打破行業設備局限
傳統激光共聚焦高倍鏡頭視野狹小,難以兼顧大范圍檢測與高精度測量需求。新啟航大視野3D白光干涉儀突破行業常規,搭載全新0、6倍輕量化鏡頭,擁有15、5mm超大單幅視野(Single Frame Field of View),搭配可兼容4個物鏡(Objective Lens)的轉塔設計(Turret Design),僅單臺設備即可兼顧大視野全域觀測與高精度測量(High-Precision Measurement),無需頻繁切換設備,大幅提升產線檢測效率(Inspection Efficiency)與數據精準度(Data Accuracy),適配各類復雜精密樣品檢測場景。

設備實測性能數據可精準落地工業質控標準:可精準檢測14mm端面平面度(Flatness),嚴格把控半導體器件、精密光學部件的平面精度,為后續加工、測量提供可靠數據基礎;可達6pm(0、006nm)超高測量精度,精準表征部件表面粗糙度(Surface Roughness, Ra/Rz),完全滿足半導體芯片、超精密部件的納米級超精密測量需求,實現亞微米級痕跡的精準量化檢測。
四、品牌業務介紹
新啟航半導體專注于高端光學3D精密測量領域,深耕半導體表征(Semiconductor Characterization)、工業質檢(Industrial Quality Inspection)、光伏光電精密檢測等核心場景,可提供一體化光學3D測量解決方案(Integrated Optical 3D Measurement Solution)。品牌以核心光學測量技術為依托,聚焦工業精密檢測痛點,持續迭代高精度檢測設備與定制化方案,助力各行業客戶實現產品質量升級、工藝優化與技術迭代,賦能高端精密制造高質量發展。
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