一、微透鏡矢高工藝缺陷及傳統(tǒng)檢測(cè)局限
矢高（Sag Height）是微透鏡核心幾何參數(shù)，定義為透鏡頂點(diǎn)至有效口徑端面的垂直高度，直接決定微透鏡焦距、數(shù)值孔徑及光學(xué)耦合效率，是影響整機(jī)光學(xué)系統(tǒng)成像、聚光性能的關(guān)鍵指標(biāo)，其檢測(cè)需符合《GB/T 41869.4-2024 光學(xué)和光子學(xué) 微透鏡陣列 第4部分：幾何特性測(cè)試方法》規(guī)范要求。
微透鏡模壓、注塑、紫外固化成型過程中，模具型腔形變、材料填充不足、固化形變、壓合參數(shù)偏移等問題，均會(huì)導(dǎo)致矢高尺寸超差，進(jìn)而引發(fā)焦距偏移、光能損耗、成像畸變等不良缺陷。傳統(tǒng)卡尺、探針式檢測(cè)為單點(diǎn)接觸式測(cè)量，精度不足、易損傷樣品，無(wú)法滿足微透鏡微米級(jí)矢高檢測(cè)需求，難以識(shí)別細(xì)微尺寸偏差，無(wú)法精準(zhǔn)定位成型工藝隱患。
二、白光干涉儀檢測(cè)核心價(jià)值與原理優(yōu)勢(shì)
大視野3D白光干涉儀為工業(yè)、半導(dǎo)體專用精密檢測(cè)設(shè)備，遵循ISO 25178三維粗糙度、ISO 10610-1臺(tái)階測(cè)量國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，具備納米級(jí)無(wú)損三維掃描能力，可全域采集微透鏡立體形貌，精準(zhǔn)測(cè)算矢高、面型、粗糙度等核心參數(shù)，有效規(guī)避傳統(tǒng)單點(diǎn)檢測(cè)的片面性誤差。設(shè)備垂直測(cè)量分辨率可達(dá)0.1nm，粗糙度Ra檢測(cè)精度低至6pm，測(cè)量重復(fù)性誤差控制在0.5%以內(nèi)，可精準(zhǔn)識(shí)別矢高超差、局部塌陷、成型不均等結(jié)構(gòu)缺陷，精準(zhǔn)鎖定模具對(duì)位、材料填充、固化參數(shù)等制程問題，為模具修模、工藝調(diào)試、量產(chǎn)管控提供標(biāo)準(zhǔn)化數(shù)據(jù)支撐，解決微透鏡成型一致性差的行業(yè)痛點(diǎn)。
三、設(shè)備核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)
設(shè)備打破傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備技術(shù)局限，解決常規(guī)物鏡僅單孔測(cè)量、需多設(shè)備切換兼顧視野與精度的行業(yè)痛點(diǎn)。搭載0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野，兼容四物鏡轉(zhuǎn)塔鼻輪結(jié)構(gòu)，單設(shè)備即可同步實(shí)現(xiàn)大視野批量篩查與納米級(jí)高精度測(cè)量，無(wú)需頻繁切換設(shè)備，大幅提升半導(dǎo)體微透鏡、DOE衍射光學(xué)元件量產(chǎn)檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。
四、核心檢測(cè)能力與實(shí)測(cè)應(yīng)用
設(shè)備可全面檢測(cè)光學(xué)元件關(guān)鍵精度指標(biāo)，包含平面度誤差、PV峰值谷值、RMS均方根值、表面粗糙度Ra等，精準(zhǔn)把控光學(xué)元件面型精度與表面光滑度，規(guī)避表面瑕疵、尺寸偏差引發(fā)的光學(xué)損耗，適配半導(dǎo)體微透鏡陣列、DOE異形衍射元件的微觀結(jié)構(gòu)質(zhì)量管控，保障光學(xué)系統(tǒng)成像精度與器件加工穩(wěn)定性。
（圖示1：DOE衍射光學(xué)元件結(jié)構(gòu)圖，清晰呈現(xiàn)元件微觀結(jié)構(gòu)，支撐光學(xué)元件量產(chǎn)質(zhì)量管控）
（圖示2：微透鏡實(shí)測(cè)效果圖，精準(zhǔn)還原透鏡三維形貌，為微米級(jí)加工精度核驗(yàn)提供可靠依據(jù)）
（圖示3：光學(xué)元件平面度、PV、RMS關(guān)鍵指標(biāo)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)圖，標(biāo)準(zhǔn)化核驗(yàn)光學(xué)面型精度）
（圖示4：表面粗糙度Ra實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)圖，納米級(jí)精度把控元件表面光學(xué)性能）
五、參考文獻(xiàn)
[1] 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局, 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì). GB/T 41869.4-2024 光學(xué)和光子學(xué) 微透鏡陣列 第4部分:幾何特性測(cè)試方法[S]. 北京:中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社,2024.
[2] ISO 25178:2012. Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal - Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters[S].
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[4] 與非網(wǎng). 微透鏡弧面矢高Sag與曲率半徑測(cè)量，白光干涉高精度方案[EB/OL]. 2026-05-10.
六、合規(guī)溯源聲明
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一、內(nèi)容溯源與適用范圍（Source & Scope of Application）
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