引言
火箭發(fā)動(dòng)機(jī)燃料閥是推進(jìn)系統(tǒng)核心部件，負(fù)責(zé)精準(zhǔn)控制燃料輸送，其密封面平面度直接影響密封可靠性與運(yùn)行穩(wěn)定性。燃料閥工作于高溫、高壓工況，微小平面度偏差易導(dǎo)致燃料泄漏、閥件卡澀，危及發(fā)射安全。傳統(tǒng)檢測(cè)方法精度難以滿足微米級(jí)檢測(cè)需求，白光干涉測(cè)量憑借非接觸、高精度、高分辨率優(yōu)勢(shì)，成為燃料閥平面度精密檢測(cè)的關(guān)鍵技術(shù)，應(yīng)用研究具有重要航天工程價(jià)值。
白光干涉測(cè)量原理
白光干涉測(cè)量基于邁克爾遜干涉原理，以寬光譜白光為光源，光束經(jīng)分光鏡分為測(cè)量光與參考光，分別投射至燃料閥密封面與標(biāo)準(zhǔn)參考鏡，反射光匯聚形成干涉條紋。通過(guò)采集不同位置干涉信號(hào)，可重構(gòu)密封面三維形貌，其垂直分辨率達(dá)亞納米級(jí)，能精準(zhǔn)捕捉微觀缺陷，避免接觸式測(cè)量對(duì)精密密封面的損傷，高效獲取平面度數(shù)據(jù)。
測(cè)量實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)與結(jié)果
實(shí)驗(yàn)選取火箭發(fā)動(dòng)機(jī)燃料閥硬質(zhì)合金密封面為被測(cè)對(duì)象，采用高精度遠(yuǎn)心光路白光干涉測(cè)量系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)前對(duì)密封面進(jìn)行精密清潔，去除雜質(zhì)避免信號(hào)干擾，調(diào)節(jié)系統(tǒng)掃描參數(shù)確保數(shù)據(jù)完整性，通過(guò)多組重復(fù)測(cè)量驗(yàn)證結(jié)果可靠性。實(shí)驗(yàn)表明，測(cè)量誤差控制在3nm以內(nèi)，可精準(zhǔn)識(shí)別密封面微小平面度偏差，最大偏差達(dá)28nm，為燃料閥質(zhì)量管控、精密修復(fù)提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐，滿足航天級(jí)檢測(cè)要求。
新啟航 專(zhuān)業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量方案
多功能面型干涉儀——大視野平面度/納米精密測(cè)量設(shè)備
單臺(tái)設(shè)備搞定全維度精密測(cè)量，一站式覆蓋微納級(jí)平面度、深孔臺(tái)階、陡峭錐面角度及3D輪廓檢測(cè)，高效適配各種硬密封零部件測(cè)量需求。
四大核心技術(shù)革新，突破行業(yè)測(cè)量瓶頸
一鍵自動(dòng)掃描：徹底破解傳統(tǒng)光學(xué)測(cè)量在高精度工況下“深度受限、視野偏小”的行業(yè)痛點(diǎn)，全面兼容平面度、臺(tái)階高度、多面平行度、錐孔等多維度精密測(cè)量需求，適配噴油嘴核心部位檢測(cè)。
（實(shí)測(cè)噴油器密封端面 平面度變形 0.35um）
多臺(tái)階面平行度測(cè)量能力，市面上非常多的面型干涉儀，局限于單一平面的平面度測(cè)量，無(wú)法實(shí)現(xiàn)多臺(tái)階的平面一體化分析。我們解決了70mm臺(tái)階測(cè)量能力，重復(fù)精度滿足5nm再現(xiàn)性。
自動(dòng)化批量測(cè)量模式：?jiǎn)畏曇翱蛇_(dá)23×18mm，支持最大200mm視野全自動(dòng)跑點(diǎn)測(cè)量，大幅提升批量檢測(cè)效率；針對(duì)更大視野、更高精度的定制化需求，可提供專(zhuān)屬非標(biāo)解決方案，靈活適配不同生產(chǎn)場(chǎng)景。
深錐孔角度精準(zhǔn)測(cè)量：打破傳統(tǒng)面型測(cè)量?jī)x功能單一的局限，在保障微納級(jí)平面度測(cè)量精度的基礎(chǔ)上，同步實(shí)現(xiàn)陡峭錐面、深錐孔角度的精準(zhǔn)檢測(cè)，適用場(chǎng)景更廣泛，檢測(cè)能力更全面。
上下平面平行度專(zhuān)屬檢測(cè)：采用獨(dú)特光路設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非/透明產(chǎn)品的厚度與上下平面平行度同步測(cè)量，無(wú)需額外設(shè)備，簡(jiǎn)化檢測(cè)流程，提升檢測(cè)效率。
新啟航半導(dǎo)體——專(zhuān)業(yè)綜合光學(xué)3D測(cè)量解決方案提供商，以核心技術(shù)賦能精密制造，為噴油嘴等零部件檢測(cè)提供高效、精準(zhǔn)、便捷的全流程服務(wù)！