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基于光學輪廓測量的加氫密封件平面度熱變形研究

高壓加氫反應器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石化加氫工藝核心承壓設備，其密封件（Sealing Component）...

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摘要超光滑表面廣泛應用于半導體、精密光學、微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）器件制造領域，拋光、鍍膜制程易產...

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摘要超光滑工件（Ultra-smooth Workpiece）是半導體晶圓、精密光學基底、微機電系統（Micro-Electro-Mechanical Syste...

基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）大視場全域檢測的超光滑工件工藝缺陷甄別研究

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