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白光干涉儀全域成像技術對超光滑樣品批量工藝異常的識別與分析

正文超光滑樣品廣泛應用于半導體化學機械拋光（Chemical Mechanical Polishing, CMP）晶圓、精密光學基底、微機電系統（Micro-El...

白光干涉儀全域成像技術對超光滑樣品批量工藝異常的識別與分析

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基于光學輪廓測量的核電級閥門平面度熱輻照變形（Thermal...

核電級閥門（Nuclear-grade Valve）是核電系統流體調控、壓力隔離的核心承壓設備，其密封面平面度（Flatness）直接關乎核電機組運行安全性與密封...

基于光學輪廓測量的核電級閥門平面度熱輻照變形（Thermal Irradiation Deformation）研究

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骨植入體表面粗糙度異常白光干涉儀提升骨整合效果

醫用骨植入體（Bone Implant）多采用鈦合金、陶瓷等生物材料，其表面粗糙度（Surface Roughness）是調控骨整合（Osseointegrati...

骨植入體表面粗糙度異常白光干涉儀提升骨整合效果

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超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）工藝畸變...

摘要超光滑樣品廣泛應用于精密光學元件、半導體晶圓（Wafer）、微機電系統（MEMS）器件、鈣鈦礦功能薄膜等高端制造領域。樣品在拋光、鍍膜、轉運制程中，易產生全域...

超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）工藝畸變與微觀缺陷檢測：基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）高精度表征方法

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